控制方案
根据客户的需求配置精细的控制方案
您的需求就是我们服务的起点
高精度温度控制的挑战
高压保护问题
导热界面材料（TIM）的瓶颈
冷却水的选择与要求
站在客户角度思考、提供解决方案
根据客户的需求配置精细的控制方案
高精度温度控制
确保在产线运行过程中，安全稳定无故障
电气系统冗余且不停水
工艺冷却在半导体行业中至关重要，它负责维持生产过程中设备和材料的稳定工作温度，防止过热导致的性能下降或损坏，确保芯片制造的精度和良率。通过有效散热，工艺冷却系统支持半导体器件的高性能运行和长期可靠性。
半导体行业的工艺冷却系统通常由冷却剂（如水或特殊化学液体）、热交换器、循环泵、温度和压力传感器、控制系统以及连接管道等组成。这些部件协同工作，以精确控制芯片制造过程中的温度，保证工艺稳定性和产品质量。
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